Testsysteme für Hochleistungshalbleiter

Hitachi Energy bietet Testsysteme für verschiedene Umgebungen wie Forschung und Entwicklung, Labor, Produktion oder Fehleranalyse. Höchste Qualitätssicherung, sichere Handhabung sowie Fern- oder Vor-Ort-Service sind garantiert.

Hochleistungs-Halbleitertestsysteme

Hitachi Energy bietet statische und dynamische Produktionstestsysteme für die meisten Leistungshalbleiter-Typen an. Sie können Chips, Substrate, Submodule, Module, Wafer und Press-Pack-Geräte handhaben. Auch Zuverlässigkeitsprüfsysteme für Hochtemperatur-Sperrspannung, intermittierende Betriebsdauer oder Stoßstromtests sind verfügbar. Die Hilfsgeräte umfassen Klemmen, Kondensatorentladung, Vorheizen, Datenerfassung und Parameterextraktion sowie programmierbare IGBT- und Thyristor-Gate-Einheiten.

Parameter

Die Testsysteme von Hitachi Energy decken den Bereich bis zu 14 kV und 10 kA ab und nutzen konfigurierbare Streuinduktivitäten bis zu 60 nH. Während der Prüfung kann das eingespannte Bauelement in der Prüfung bei Produktionssystemen präzise auf bis zu 200 °C erwärmt oder bei technischen Systemen in einer Umgebungskammer auf bis zu -40 °C abgekühlt werden. Die Spanneinheiten können Vorrichtungen mit einem Durchmesser von bis zu 240 mm handhaben und eine Spannkraft von bis zu 240 kN aufbringen.

Automatisierung

Unsere Prüfsysteme sind so konzipiert, dass sie sich leicht in automatisierte Handhabungsgeräte integrieren lassen. Die Prüfsystem-Software ist kompatibel mit kommerziellen Steuerungssystemen wie Manufacturing Execution System (MES) und Computer-Aided Quality Assurance (CAQ).

Systeme für die Zuverlässigkeitsprüfung

• Hochtemperatur-Sperrvorspannung
• Intermittierende Nutzungsdauer/Power Cycling
• Stoßstrom
• Frequenzmessgerät

Zusatzeinrichtung

• Klemmeinheit
• Kondensator-Entladeeinheit
• Vorwärmeinheit
• Programmierbare IGBT- und Thyristor-Gate-Einheiten
• Datenerfassungs- und Parameterextraktionseinheiten